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URE-2000/35型紫外光刻機

簡(jiǎn)要描述：URE-2000/35型紫外光刻機，采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現高精度自動(dòng)調平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實(shí)現自動(dòng)化控制。

產(chǎn)品型號：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2024-06-04
訪(fǎng) 問(wèn) 量：3713

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芯片加工設備

激光切割機熱壓鍵合機等離子清洗機光刻機

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品牌	其他品牌	價(jià)格區間	面議
儀器種類(lèi)	微流控芯片系統	應用領(lǐng)域	醫療衛生,環(huán)保,電子

產(chǎn)品名稱(chēng)：URE-2000/35型紫外光刻機

主要技術(shù)指標：

曝光面積：100mm×100mm

分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

對準精度：±0.8μm

大膠厚：300μm（SU8膠）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；

照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）

汞燈功率：350W（直流）

掩模相對于樣片運動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

URE-2000/35型紫外光刻機技術(shù)特點(diǎn)：

創(chuàng )新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現高精度自動(dòng)調平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實(shí)現自動(dòng)化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現高均勻照明；可連續設定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。

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